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隻有了解三維表麵形貌測量儀的測量原理,才能更好的使用

發布日期: 2019-07-29
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  三維表麵形貌測量儀具有高分辨率、大量程、低成本的特點。該三維表麵形貌測量儀由基於直線相位衍射光柵幹涉原理的微位移傳感器、X-Y二維工作台、立柱、光電探測器以及信號處理電路、計算機及數據處理軟件組成。該輪廓儀工作台的工作範圍為50 mm×50 mm,小步距為0.2μm,工作台計量係統的分辨率為0.05μm,微位移傳感器理論垂直分辨率可達到0.12 nm,實際測量量程為2 mm,通過更換測杆可以達到6 mm的測量量程。
 
  三維表麵形貌測量儀的測量原理:
 
  低相幹白光同時照射樣品和參考平麵,被樣品和參考平麵反射的兩束白光發生幹涉後由陣列式CMOS探測器接收,由於探測器直接與信號處理芯片(Smart Pixel技術)連接,所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大,背景信號補償和結果計算輸出,成像於計算機就實現了樣品表麵的快速三維形貌測量。
 
三維表麵形貌測量儀的突出特點:
 
  1、全自動:測量簡單且自動化程度高,如自動更換物鏡等。
 
  2、高測量速度:InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。
 
  3、模塊化和可擴展性:新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合。
 
  4、和:LED環形燈的設計,使表麵測量的範圍幾乎不受限製。
 
  5、高分辨,高可重複性和可溯源:即使對於複雜樣品表麵,仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率。
 
  6、一款的3D光學測量儀:InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量係統和表麵粗糙度測量係統所有的功能。
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